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低温泵 CRYO-U4H

CRYO-U系列,是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同,从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。

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低温泵

爱发科低温泵

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  • 产品特点和用途
  • 产品参数和曲线图
  • |特点

    1、低温泵是通过在真空容器内形成极低温面,把容器内的气体分子冷凝、吸附在此低温面上,将其从真空环境中除去的泵。

    2、被冷凝气体的饱和蒸汽和被吸附气体的吸附平衡压降至10-8pa以下时,低温泵才能有效进行抽气。

    3、这是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。

     

    |用途

    用于半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域。

     

  • |规格参数

     

    型式    CRYO-U4H CRYO-U6H CRYO-U8H CRYO-U10H
    排气速度 @20℃ L/s 450.0  750.0  1700.0  2400.0 
    500.0  1100.0  2700.0  3600.0 
    370.0  620.0  1400.0  2000.0 
    1100.0  2100.0  4000.0  6900.0 
    极限压力 Pa   10的负7次方
    流量 Pa L/s 1.3×103 1.1×103 1.2×103 1.3×103
      1.1×102 2.4×102 1.5×102
    排气容量   1.0×107 5.6×107 1.0×108 1.0×108
    1.5×105 3.1×105 1.0×106 1.2×106
    吸气法兰     ISO-K DN100 UVG-150,UFC-203 UVG-200,6BANSIUFC-253 UVG-250
    冷却下降时间 50/60Hz 45/40 80/70 100/90 110/100
    质量 KG   14.5 19 20.8 29
                 

     

    |曲线图

     

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