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机械涡轮分子泵 nEXT85 DN40
涡轮分子泵是一种多级轴流式涡轮机，其中的高速旋转叶片通过增加气体沿泵送方向移动的可能性来实现压缩。涡轮分子泵针对分子流量条件进行了优化，需要一个大小合适的前级泵排气到大气中。
所属分类：
NEXT机械涡轮分子泵
机械涡轮分子泵
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NEXT机械涡轮分子泵
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- 产品特点和用途
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|特点
1、涡轮分子泵的选择范围，选用抽速为47至400Ls﹣1的涡轮分子泵，以及DN40至DN16的入口法兰。
2、集成控制，分子泵和真空计集成式控制器可实现对泵和最多3个真空计的完全控制，并且能够实现完整的串行远程通信。
3、排气阀选项，可选择的涡轮分子泵排气阀可作为泵车组件的一部分订购。
4、用户可维护，所有nEXT涡旋分子泵和前级泵均可完全由用户维修。
5、坚固的金属框架，带有锁定脚轮的全金属框架坚固并且便于移动的系统设计，包括安全台式操作工作台安装套件。
6、前级泵选择，前级泵可选1m﹣3h﹣1抽速的油封旋片泵或干式泵。
7、低震动，后备泵安装在防震动底座上，能够有效降低前级泵振动对小车产生的影响。
|用途除了应对一般的研发市场（有时需要更快的抽速）外，这些泵还设计用于满足涂层市场和其他扩散市场领域的要求，例如热处理、熔炉应用、电子束焊接、蚀刻、离子植入、排气和气瓶抽空。
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|规格参数
型式 nEXT85 DN40 nEXT85 DN63 nEXT240 nEXT300 nEXT400 峰值抽速 Ls-1 N2 47.0 84.0 240.0 300.0 400.0 Ar 44.0 80.0 230.0 280.0 380.0 He 61.0 78.0 340.0 340.0 290.0 H2 49/44(D/H) 60/54(D/H) 280.0 280.0 325.0 压缩比 N2 >1011 >1011(D&T) Ar He 8×106 / 2×107(D/H) 3×105 / 106(D/T) 106 / 3×106(D/T) 108 / >108(D/T) H2 2×105 / 5×105(D/H) 104 / 105(D/T) 5×104 / 105(D/T) 5×105 / 106(D/T) 极限真空（CF） mbar <5×10-10 最大允许前级压力 mbar 18 9.5 / 20（D/T） 电机最大功耗 W 80（范围50-120） 160（范围50-200） 电机工作电压 V（直流） 24 - 48 电机额定转数 rpm 9000 6000 进气法兰 NW40 ISO63 / CF63 ISO100 / CF100 ISO160 / CF160 排气法兰 NW16 NW25 启动到全速时间 s 115 145 175 冷却方式 自然冷却 / 强制风冷 / 水冷 控制器通讯接口 RS232,485 / I /O 质量 kg 3 3 或 4.5 6 或 9 7 或 10 备注 |曲线图
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