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工艺电源 DC-10-AM
DC-10和DC-20是10kW及20kW输出功率的溅射用DC電源。它由可靠的部件和电路组成。它是等离子体负载的可靠电源，其设计反映了包括电源应用在内的多年积累的专业知识。
所属分类：
工艺电源
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工艺电源
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- 产品特点和用途
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|特点
1、轻量・省空间
轻量・省空间的设计，安装简易2、输出电压范围可选
除800V规格外，还提供1000V规格。3、丰富的电弧处理
丰富的电弧控制系统。4、不需要冷却水
强制空冷系统，不需要冷却水。5、可以安装高速电弧中断回路
实现标准的低电弧能量。 此外，可以安装可选的高速电弧中断电路。6、自由的并联操作功能
DC-10，DC-20：可选的并联运行功能允许自由组合10kW和20kW，并联运行多达12个单元。 （高达240千瓦）|用途1、FPD用溅射设备
2、半导体用溅射设备
3、触摸屏用溅射设备用
4、工业涂层用溅射设备
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|规格参数
型式 DC-10-AM DC-10-H-AM DC-10-4-AM DC-20-AM DC-20-H-AM DC-20-4-AM 入力样式 输入电压 3相 AC187~229V 3相AC342~440V 3相 AC187 ~229V 3相 AC342 ~440V 入力容量 13.5KVA以下 25KVA以下 输出样式 最大额定输出 10kW 20kW 额定电流 25A 18A 25A 50A 40A 50A 额定电压 -800V -1000V -800V -800V -1000V -800V 点火电压 -1500V 异常放电控制 检出异常放电时变频器停止 控制 控制方式 恒功率控制（P控制）/恒流控制（I控制）/恒压控制（V控制） 控制精度 恒定功率控制（P控制）：额定输出的±0.5%或更小或设定值的±1%，以较大的为准。
恒流控制（I控制）：额定输出的±1%或以下或设定值的±2%，以较大的为准。
恒压控制（V控制）：额定输出的±1%或以下或设定值的±2%，以较大的为准。控制保证范围 恒定功率控制，额定功率值的10至100% 冷却方式 强制空冷 质量（Kg） 29 36 外形尺寸 W×D×H （mm） 483×630×133 （不含凸起物） 备注 |曲线图
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