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工艺电源 DC-20-DH
DC-10-D和DC-20-D是用于溅射的直流电源，输出功率为10kW和20kW。它由可靠的部件和电路组成，是一种非常可靠的电源，适合于等离子体负载，反映了爱发科多年来在电源设计中积累的技术诀窍。
所属分类：
工艺电源
DC脉冲电源
爱发科
电源
关键词：
工艺电源
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- 产品特点和用途
- 产品参数和曲线图
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|特点
1、丰富的高性能选项
2、轻巧且节省空间的设计
3、800V和1000V的电压输出范围
4、适应于等离子体的输出控制
5、强制空气冷却系统，无需冷却水
6、配备出色的ARC功能和高速ARC断路器
7、可连12台设备并联运行（240kW）
8、符合RoHS、CE、SEMI-F47标准
|用途1、FPD溅射设备
2、半导体溅射设备
3、电子元器件溅射设备
4、工业涂层溅射设备
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|规格参数
型式 DC-10-D DC-10-DH DC-20-D DC-20-DH 入力样式 输入电压 AC208V 入力容量 13.5KVA以下 25kVA以下 输出样式 最大额定输出 10kW 20kW 额定电流 25A 18A 50A 40A 额定电压 800V 1000V 800V 1000V 点火电压 -1500V 异常放电控制 当检测到异常放电时，通过逆变器停止或高速电弧关闭电路关闭*1 控制 控制方式 控制/用户控制/串行通信控制（RS232C或RS485）/EtherCAT*4 控制精度 额定功率的1至10%：设定值的±5%或更小
额定功率的10-100%：额定输出的±0.5%或以下或设定值的±1%中的较高控制保证范围 恒定功率控制：额定功率值的10至100%（选项：1-100%） 冷却方式 强制空冷 质量（Kg） 29 36 外形尺寸 W×D×H （mm） 483×630×133 （不含凸起物） 备注 |曲线图
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