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工艺电源 DC-30-44H-E

DC-30-44H-E是30kW高阻抗规格溅射用DC电源。

所属分类:

工艺电源

DC脉冲电源

爱发科

电源

关键词:

工艺电源


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  • 产品特点和用途
  • 产品参数和曲线图
  • |特点

    1、通过高速电弧中断回路实现超低电弧能量。 有助于提高生产力和产量。

    2、1200 V输出,可对应高阻抗负载。

    3、支持EtherCAT,有助于减少设备的布线。

     

    |用途

    1、FPD用溅射设备

    2、半导体用溅射设备

    3、触摸屏用溅射设备用

    4、工业涂层用溅射设备

     

     

  • |规格参数

     

    型式  DC-10-AM DC-10-H-AM DC-10-4-AM DC-20-AM DC-20-H-AM DC-20-4-AM
    入力样式 输入电压 3相 AC187~229V 3AC342~440V 3 AC187 ~229V 3 AC342 ~440V
    入力容量 13.5KVA以下 25KVA以下
    输出样式 最大额定输出 10kW 20kW
    额定电流 25A 18A 25A 50A 40A 50A
    额定电压 -800V -1000V -800V -800V -1000V -800V
    点火电压 -1500V
    异常放电控制 检出异常放电时变频器停止
    控制 控制方式 恒功率控制(P控制)/恒流控制(I控制)/恒压控制(V控制)
    控制精度 恒定功率控制(P控制):额定输出的±0.5%或更小或设定值的±1%,以较大的为准。

    恒流控制(I控制):额定输出的±1%或以下或设定值的±2%,以较大的为准。

    恒压控制(V控制):额定输出的±1%或以下或设定值的±2%,以较大的为准。
    控制保证范围 恒定功率控制,额定功率值的10至100%
    冷却方式 强制空冷
    质量(Kg) 29 36
    外形尺寸 W×D×H mm 483×630×133 (不含凸起物)
    备注              

     

    |曲线图

     

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