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工艺电源 DC-5P
DC-P系列是对反应性工艺中产生的电弧有效的电源。由于设定了的周期性反转输出电压，中和靶材表面积蓄的电荷，实现了良率和产能的提高。
所属分类：
爱发科
工艺电源
DC脉冲电源
电源
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爱发科
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- 产品特点和用途
- 产品参数和曲线图
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|特点
1、高产量
通过减少异常放电可以输入更高功率2、基板损伤减少
能够减少电弧引起的基板损坏3、可变的反向脉冲频率
可在10kHz至250kHz范围内使用4、主/从连接允许大容量
多达可以6台并联运行（可以使用相同型号）5、DC输出也可以
PULSE功能停止后，也可以当作极低电弧性能的DC电源使用|用途1、FPD用反应溅射设备
2、工业涂层用反应溅射设备
3、彩色TFT用反应溅射设备
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|规格参数
型式 DC-2 DC-4 DC-5P DC-10P 入力样式 输入电压 3相 AC180~242V 三相 AC187~229V 入力容量 3.5KVA以下 6.2KVA以下 8kVA 13.5kVA 输出样式 最大额定输出 2kw 4kw 5kw 10kw 额定电流 5A 10A 12.5A 25A 额定电压 -800v -650v / -800v 点火电压 -1200V -1500V 异常放电控制 当检测到异常放电时变频器停止 控制 控制方式 恒功率控制（P控制）/恒流控制（I控制）/恒压控制（V控制） 控制精度 设定值的±1% 额定输出±0.5%以下或设定值的±1%，以大的值为准 控制保证范围 额定功率值的1至100% 额定功率值的10至100% 冷却方式 强制空冷 质量（Kg） 15 29 36 外形尺寸 W×D×H （mm） 241×610×133 （不含凸起物） 483×630×133 （不含凸起物） 备注 |曲线图
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