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NRL系列在低温领域下的均热化。除PVD工艺外，尤其适用于希望提高流量，缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。低噪音、低振动，优良的耐腐蚀性。主要应用于刻蚀、溅射镀膜、单晶炉、冷冻干燥等行业领域。
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NRL系列在低温领域下的均热化。除PVD工艺外，尤其适用于希望提高流量，缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。低噪音、低振动，优良的耐腐蚀性。主要应用于刻蚀、溅射镀膜、单晶炉、冷冻干燥等行业领域。