涡旋干泵
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DIS系列涡旋泵是双绕式涡旋泵、含1根轨道螺旋和2根固定螺旋。可在大气压下实现操作运行，可实现高极限真空，低振动低噪音，维护周期可通过计时表控制。主要应用于分析设备、涂装设备、氦气检漏仪、半导体制造工艺等领域。
DIS系列涡旋泵是双绕式涡旋泵、含1根轨道螺旋和2根固定螺旋。可在大气压下实现操作运行，可实现高极限真空，低振动低噪音，维护周期可通过计时表控制。主要应用于分析设备、涂装设备、氦气检漏仪、半导体制造工艺等领域。